| 下記の装置を作製・販売いたしております。 ●真空蒸着装置 ●イオンプレーティング装置 ●スパッタリング装置（直流式、高周波式） ご希望にあわせて製造しています。 装置例 ●スパッタリング用直流電源も取り扱っております。 是非一度ご連絡下さい。 |
メールmusashino-vac@paw.hi-ho.ne.jp ：担当 小山
スパッタリング装置、薄膜、イオンプレーティング装置作製（真空薄膜装置の製造、開発、販売）の「武蔵野真空技研」
| 下記の装置を作製・販売いたしております。 ●真空蒸着装置 ●イオンプレーティング装置 ●スパッタリング装置（直流式、高周波式） ご希望にあわせて製造しています。 装置例 ●スパッタリング用直流電源も取り扱っております。 是非一度ご連絡下さい。 |
有限会社 武蔵野真空技研
〒184-0003
東京都小金井市緑町1-2-34
TEL 042-385-0032 FAX 042-301-7912
担当：小山
トピックス
・2005年３月。台湾企業様へＬＣＤ関連スパッタリング装置納入
【特徴】
ロードロック、バッチ式ＤＣスパッタリング装置
約９００×１０００ｍｍガラス対応。
３層膜スパッタ成膜。
面内膜厚分布±４％
・2004年９月。台湾企業様からＬＣＤ関連スパッタリング装置作製受注。